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光譜共焦厚高測量儀
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●采用光譜共焦技術(shù)，非接觸測量，避免對鏡片造成二次損傷和污染
●可實現(xiàn)高頻率采集，操作方便，測量值實時顯示
●檢測速度快，高性能納米級檢測設(shè)備，可在8ms內(nèi)實現(xiàn)重復(fù)性高精度的檢測
●檢測精度可以達到±0.1um
●可以根據(jù)用戶現(xiàn)場生產(chǎn)線的實際情況實現(xiàn)全自動檢測，進行非標(biāo)定制
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